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台积电请求晶圆检测体系和办法专利完结晶圆高效准确测验

• 产品描述：台积电请求晶圆检测体系和办法专利完结晶圆高效准确测验
• 时间：2024-09-21 08:18:23      来源：江南体育app下载
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　　金融界 2024 年 8 月 28 日音讯，天眼查知识产权信息数据显现，台湾积体电路制作股份有限公司请求一项名为“晶圆检测体系和办法“，公开号 CN5.4 ，请求日期为 2024 年 4 月。

　　专利摘要显现，一种晶圆测验办法有：经过机械臂将晶圆定位在榜首探针设备的榜首探针室中，该榜首探针设备附近传送轨迹，该机械臂在操作中沿着传送轨迹移动；使用榜首探针设备测验晶圆；测验之后，将晶圆传送到附接至榜首探针室的环境缓冲器；在环境缓冲器中冷却晶圆；冷却之后，经过机械臂将晶圆从环境缓冲器传送至第二探针设备的第二探针室，第二探针设备附近传送轨迹并违背榜首探针设备。本请求的施行例还触及一种晶圆测验体系。

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